Description
Roth & Rau Muegge GmbH Magnetron Sputter Head, MH3000S 210CV
Modell: MH3000S210CV
Daten:
5100V
2.45GHz
900mA
3000W
Magnetron Sputter Heads für Beschichtungsanlagen
2x Directional Detector: MM 1002-110AB
ME0118P-035AB
ME0118P-037AB
Das Magnetronsputtern ist ein plasmagestütztes Abscheideverfahren, bei dem energiereiche Ionen auf ein Target beschleunigt werden. Die Ionen treffen auf das Target und die Atome werden von der Oberfläche ausgestoßen (oder gesputtert). Diese Atome wandern in Richtung des Substrats und werden in die wachsende Schicht integriert.
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